立命館学術成果リポジトリ

博士(工学)

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ファイル	フォーマット	サイズ	閲覧回数	説明
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k_543_ej	pdf	97.3 KB	319	要旨（和・英）
k_543	pdf	6.53 MB	2,992	本文

メタデータID	7235
タイトル	MEMS共振器デバイスとシミュレーションについての研究
タイトル（その他）	Study of MEMS Resonator Devices and Simulation
著者	谷川, 紘谷川, 紘谷川, 紘
著者（その他）	TANIGAWA, Hiroshi TANIGAWA, Hiroshi TANIGAWA, Hiroshi
学位名	博士（工学）
学位授与番号	34315乙第543号
学位授与機関	立命館大学
学位授与年月日	2016-03-04
本文言語	日本語
カテゴリ	博士(工学)
URI	http://hdl.handle.net/10367/7235
資源タイプ	Thesis or Dissertation
著者版フラグ	ETD